真空镀膜仪Q150T使用手册(镀碳膜)

发布时间:2020-10-26

   本手册是使用真空镀膜仪Q150T对铜网或连续切片带收集样品进行碳镀膜工作的一般性指导手册。使用本仪器前,请先联系仪器管理人员,进行仪器使用操作培训。

  
  1、 打开氩气瓶阀门。
  2、 打开仪器电源开关,电源开关位于仪器控制面板下后方。
  
 
  3、 利用控制面板右侧的控制笔对控制面板进行操作,选择下拉菜单的 QT Vent chamber,之后选择Run profile 运行。
   

 

  

  4、 QT Vent chamber 运行结束后,即可打开真空样品罐盖子,将样品放入真空样品罐内的支架上,图例为一张滤纸和一枚硬币。
  
 
  5、利用铣刀将碳棒一边削细,有红蓝两种铣刀,红色削出的碳棒较粗,蓝色较细。用红、蓝铣刀各削出一个碳棒,并将碳棒细头在砂纸上磨平。
   

 

  

  6、 将真空罐盖子下方的护片拨下,露出碳棒插入的位置,将蓝色铣刀削出的碳棒(较细)插入左侧,红色铣刀削出的碳棒(较粗)插入右侧。左侧碳棒插入位置可调整区域插入一个特制金属片,以调整镀膜时碳棒前进距离。两个碳棒细端向内,对齐,旋紧螺丝,拔出金属片,并向上拨起护片。将真空罐盖子向下盖好。
   

 

 

  7、选择下拉菜单的 QT pulse rod evap,并点击 Run profile 运行(图A)。此时机器开始抽真空(图B)。抽真空完成后,点击控制面板的Continue 选项(图C),开始镀膜。镀膜完成后,控制面板会显示镀膜厚度,并自动开始Venting Chamber (图D).
   

 

 

  8、Venting Chamber结束后即可打开盖子取出样品。
  9、如两根碳棒细端所剩长度较长,可将碳棒取下,磨平细端后继续使用。否则重复第5步,对碳棒进行加工。
  10、使用完毕后,取出样品,取下碳棒,盖好真空罐盖子,控制面板中选择 QT Vacuum shutdown 选项,并点击 Run Profile 按钮运行。运行完毕后,关闭仪器后方电源,和氩气瓶开关。
  
 

 

 

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