微纳电子加工平台是脑智中心为主体设立的面向脑智中心、外部科研院所乃至全社会开放的仪器共享科研平台,也是脑智中心开展半导体器件工艺及其交叉学科研究的重要创新平台。微纳平台将紧紧围绕中心发展和人才培养...